Общий термин, применяемый к процессу нанесения тонкого пленочного покрытия, при котором поверхность подложки и/или наносимое покрытие подвергается воздействию потока высокоэнергетических частиц (обычно газовых ионов), достаточному для того, чтобы вызвать изменения в приповерхностной области или свойствах покрытия.