Словарь терминов Химическое покрытие паром

Химическое покрытие паром - Chemical vapor deposition (CVD)

Процесс нанесения покрытия подобно газовой карбюризации и нитроцементации путем подачи газообразного реагента в камеру обработки, где он контактирует с поверхностью заготовки, выделяя материал для абсорбции или аккумулирования на рабочей поверхности. Оставшийся газ удаляется из камеры обработки, вместе с избыточным газом атмосферы.

Вернуться